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[测试机资料] VTT V7100 手册 [复制链接]

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发表于 2012-7-28 17:59:35 |显示全部楼层
手上的VTT V7100 完整版参考手册

没有玩过VTT的机器, 不怎么看得懂,分享出来给大家。

VT7100 Manual.zip (1.13 MB, 下载次数: 1326)




1. parallel measurement

2. pin card

3. Operation

4. interface

5. pattern

6. maintenance

7. command

8. wafermap

9. hardware

10.library

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